等離子清洗機也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。

 

　　與濕法清洗相比，等離子清洗的優勢表面在以下幾個方面：
 

　　(1 )在經過等離子清洗之后，被清洗物體已經很干燥，不必再經干燥處理即可送往下道工序。
 

　　(2 )不使用三氯乙甲 ODS 有害溶劑，清洗后也不會產生有害污染物，屬于有利于環保的綠色清洗方法。
 

　　(3)它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部并完成清洗任務，所不多考慮被清洗物體形狀的影響。
 

　　(4 )整個清洗工藝流程在幾分鐘即可完成，因此具有效率高的特點。
 

　　(5 )等離子清洗的大技術特點是，它不分處理對象，可處理不同的基材。無論是金屬、半 導體、氧化物還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯 乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚脂、環氧樹 脂等高聚物)都可用等離子體很好地處理。因此，特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗。
 

　　(6 )在完成清洗去污的同時，還能改變材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能，改善膜的附著力等。
 

　　(7)自動化程度高;具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證;由于是在真空中進行，不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。